Cal é o mellor material para usar para o anel de retención de CMP

Cal é o mellor material para usar para o anel de retención de CMP?

As obleas de silicio son obleas de silicio utilizadas na produción de circuítos de semiconductores de silicio e, a continuación, o proceso de pulido mecánico no proceso de produción de obleas de silicio e é un vínculo moi importante, normalmente escoitamos algúns centímetros de obleas, que representa o diámetro maior do diámetro do Wafer de silicio, mellor o rendemento desta oblea de silicio, canto máis forte sexa a realización da forza técnica, polo que no proceso de produción de obleas, a taxa de rendemento converteuse nunha condición moi importante, que para os requisitos de pulido superficial tamén están aumentando, CMP O proceso de pulido tamén está a ser cada vez máis sofisticado, polo que o proceso de pulido para usar o anel fixo CMP maduro

Durante o proceso de pulido da oblea, o anel de retención de CMP debe manter a oblea durante o proceso de pulido. Durante o proceso de pulido, engádense diferentes produtos químicos e estes líquidos poden corroír os compoñentes pulidos, polo que require o anel de retención de CMP para poder soportar certas cargas mecánicas, boa flexibilidade e resistencia á corrosión e outras características.

Para resumir, para fabricar aneis de retención de CMP, necesitamos procesadores para ter unha precisión de procesamento moi elevada e estabilidade dimensional para reducir o rabuñado das obleas despois.

Normalmente escollemos dous plásticos de enxeñería especial: PPS e PEEK para procesar e producir aneis de conservación de CMP.

O material PPS caracterízase por unha alta resistencia ao desgaste, unha boa resistencia química e unha resistencia ao disolvente, así como boas propiedades de fricción, tipo de material limpo de alto sol, non contaminarán a oblea, en comparación co anel fixo CMP, PPS CMP Custo de anel fixo is é Baixa e formou unha cadea industrial completa, coa familia resalta o rendemento do custo.

O anel de retención de CMP de Peek ten un maior coeficiente de fricción, en comparación co rendemento de fricción do anel de retención de PPS CMP, ten unha resistencia química máis completa e estable, unha gama máis ampla de alta resistencia a temperatura, de xeito que o anel de retención de CMP de PEEK durante moito tempo O ambiente de mecanizado de alta resistencia a termo máis estable, en tempo relativo, as mesmas condicións de traballo, pero o custo tamén será maior en comparación con algúns.